售价直逼30亿 ASML下代EUV光刻机年底问世:1nm工艺必备

2023-06-18 10:20:44 | 来源:快科技


(资料图)

6月17日消息,在半导体工艺进入7nm节点之后,EUV光刻机是少不了的关键设备,目前只有ASML能制造,单台售价10亿人民币,今年底还会迎来下一代EUV光刻机,价格也会大涨。

光刻机的分辨率越高,越有利于制造更小的晶体管,而分辨率也跟光刻机物镜的NA数值孔径有直接关系,目前的EUV光刻机是NA=0.33技术的,下代EUV光刻机则是提升到NA=0.55。

根据ASML公司高管日前透露的消息,NA=0.55的EUV光刻机今年底会出货首个商用原型,2025年会正式量产。

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